YS/T 1025-2015 电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材

标准编号：YS/T 1025-2015

标准名称：电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

起草人

姚力军、王学泽、丁照崇等

起草单位

宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、北京天龙钨钼科技股份有限公司等

适用范围

本标准适用于电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材，以下简称高纯钨及钨合金靶。