YS/T 28-2015 硅片包装

标准编号：YS/T 28-2015

代替了下列标准：YS/T 28-1992

标准名称：硅片包装

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

起草人

王飞尧、孙燕、马林宝等

起草单位

杭州海纳半导体有限公司、有研新材料股份有限公司、南京国盛电子有限公司等

适用范围

本标准适用于硅单晶抛光片、外延片、SOI等硅片的洁净包装、硅单晶研磨片(简称硅研磨片)包装和太阳能电池用硅片包装，使其在运输、贮存过程中避免再次沾污和破碎。