YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

标准编号：YS/T 14-2015

代替了下列标准：YS/T 14-1991

标准名称：异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

起草人

马林宝、杨帆、葛华等

起草单位

南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司

适用范围

本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度，测量范围为1μm～100μm。