YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法

标准编号：YS/T 1060-2015

标准名称：硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

起草人

刘新军、刘英杰、郑华荣等

起草单位

中锗科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司

适用范围

本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷（包括二氯二氢硅、四氯化硅）含量的测定。测定下限为0.002%。