JC/T 2243-2014 等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管

标准编号：JC/T 2243-2014

标准名称：等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管

发布日期：2014-10-14

实施日期：2015-04-01

起草人

张葆青、白凤茹

起草单位

上海强华石英有限公司、久智光电子材料科技有限公司等

适用范围

本标准规定了等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管的术语和定义、材料、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于板式等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管。