YS/T 987-2014 氯硅烷中碳杂质的测定方法——甲基二氯氢硅的测定

标准编号：YS/T 987-2014

标准名称：氯硅烷中碳杂质的测定方法——甲基二氯氢硅的测定

发布日期：2014-10-14

实施日期：2015-04-01

起草人

敖细平、王波等

四川新光硅业科技有限责任公司、乐山乐电天威硅业科技有限责任公司等

本标准规定了氯硅烷中碳杂质的测定方法，主要包括三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定。本标准适用于三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定。三氯氢硅、四氯化硅中甲基二氯氢硅的检测范围均为0.00001%～1.00%。