YS/T 954-2014 金砷蒸发料

标准编号：YS/T 954-2014

标准名称：金砷蒸发料

发布日期：2014-10-14

实施日期：2015-04-01

起草人

陈彪、向磊 等

起草单位

北京达博有色金属焊料有限责任公司、有色金属技术经济研究院

适用范围

本标准规定了金砷蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同(或订货单)等内容。本标准主要适用于半导体芯片制造背金时用的金砷蒸发料。