YS/T 980-2014 高纯三氧化二镓杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

标准编号：YS/T 980-2014

标准名称：高纯三氧化二镓杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

发布日期：2014-10-14

实施日期：2015-04-01

起草人

刘爱华、孙平 等

起草单位

峨嵋半导体材料研究所、南京中锗科技股份有限公司等

适用范围

本标准规定了高纯三氧化二镓中杂质元素含量的测定方法。 本标准适用于高纯三氧化二镓中钠、镁、钙、钛、钒、铬、锰、铁、镍、钴、铜、锌、锡、铅、铟含量的测定。各元素测定范围为1×10-6%～4×10-5%。