JB/T 12067-2014 TDL-GX硅芯生长炉

标准编号：JB/T 12067-2014

标准名称：TDL-GX硅芯生长炉

发布日期：2014-07-14

实施日期：2014-11-01

起草人

陈巨才、朱琳

起草单位

西安电炉研究所有限公司、西安理工晶体科技有限公司等

适用范围

本标准规定了对TDL-GX 硅芯生长炉产品的型号品种规格、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、存储以及定购和供货等。 本标准适用于高频感应加热，采用基座法生长硅基发热载体的设备。