YS/T 937-2013 镍铂靶材

标准编号：YS/T 937-2013

标准名称：镍铂靶材

发布日期：2013-10-17

实施日期：2014-03-01

起草人

朱晓光、顾新福 等

起草单位

有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院等

适用范围

本标准规定了镍铂靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同(或订货单)内容。本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材。