YS/T 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材

标准编号：YS/T 936-2013

标准名称：集成电路器件用镍钒合金靶材

发布日期：2013-10-17

实施日期：2014-03-01

起草人

董亭义、何金江 等

起草单位

有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院等

适用范围

本标准规定了集成电路器件用镍钒合金溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及订货单或合同内容。本标准适用于电子薄膜制造用的各类镍钒合金溅射靶材。