YS/T 893-2013 电子薄膜用高纯钛溅射靶材

标准编号：YS/T 893-2013

标准名称：电子薄膜用高纯钛溅射靶材

发布日期：2013-10-17

实施日期：2014-03-01

起草人

何金江、董亭义 等

起草单位

有研亿金新材料股份有限公司、宁波江丰电子材料有限公司

适用范围

本标准规定了电子薄膜用高纯钛溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明与合同(订单)等内容。本标准适用于电子薄膜制造用的各类钛溅射靶材。