JC/T 2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法

标准编号：JC/T 2133-2012

标准名称：半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法

发布日期：2012-12-28

实施日期：2013-06-01

起草人

陈奕睿、屈海云 等

起草单位

中国科学院上海硅酸盐研究所

适用范围

本标准规定了采用电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP-AES)法测定半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的方法。本标准适用于半导体化学机械抛光(CMP)中抛光液用的各种硅溶胶。