YS/T 791-2012 铂靶

标准编号：YS/T 791-2012

标准名称：铂靶

发布日期：2012-11-07

实施日期：2013-03-01

起草人

王永辉、朱晓光

起草单位

有研亿金新材料有限公司

适用范围

本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材，其他用途的铂靶材也可参照使用。