YS/T 43-2011 高纯砷

标准编号：YS/T 43-2011

代替了下列标准：YS/T 43-1992

标准名称：高纯砷

发布日期：2011-12-20

实施日期：2012-07-01

起草人

杨卫东、程高明 等

起草单位

峨嵋半导体材料厂、峨嵋山嘉美高纯材料有限公司

适用范围

本标准规定了高纯砷的分类和标记、要求、试验方法、检验规则、产品标识、包装、运输、贮存等。本标准适用于以工业砷为原料，经升华、氯化、精馏、氢还原等加工提纯后制成的纯度不小于99.999%、99.9999%、99.99999%的高纯砷。产品主要用于制造砷化镓等Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体、外延源以及半导体掺杂剂等。