JC/T 181-2011 半导体用透明石英玻璃器件

标准编号：JC/T 181-2011

代替了下列标准：JC/T 181-1981 (1996)

标准名称：半导体用透明石英玻璃器件

发布日期：2011-12-20

实施日期：2012-07-01

起草人

吴洁、杨小会 等

起草单位

中国建筑材料检验认证中心、中国建筑材料科学研究总院

适用范围

本标准规定了半导体用透明石英玻璃器件的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃器件，包括透明石英玻璃扩散管、透明石英玻璃舟、透明石英玻璃保温桶、透明石英托架、透明石英瓶、透明石英清洗缸等。其它用途的透明石英玻璃器件可参照本标准。