JB/T 10553-2006 真空技术 扩散硅压阻真空计

标准编号：JB/T 10553-2006

标准名称：真空技术 扩散硅压阻真空计

发布日期：2006-05-06

实施日期：2006-10-01

起草人

吴春阳、苏玉萍

起草单位

沈阳真空技术研究所

适用范围

本标准规定了扩散硅压阻真空计的分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装和贮存。本标准适用于测量压力为（100～1X105）Pa的扩散硅压阻真空计。