JB/T 6922-2004 真空蒸发镀膜设备

标准编号：JB/T 6922-2004

代替了下列标准：JB/T 6922-1993

标准名称：真空蒸发镀膜设备

发布日期：2004-10-20

实施日期：2005-04-01

起草人

周毅、陈月增

北京北仪创新真空技术有限公司、沈阳真空技术研究所

本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型式和基本参数、技术要求、试验方法、检验规则及标增、包装、运输、贮存等要求。本标准适用于极限压力在5×10^(-4)pa～5×10^(-3)Pa范围的真空蒸发镀膜设备。