JB/T 10030-1999 光栅线位移测量系统

标准编号：JB/T 10030-1999

代替了下列标准：ZB J42 036－1989

标准名称：光栅线位移测量系统

发布日期：1999-05-20

实施日期：2000-01-01

适用范围

本标准规定了光栅线位移测量系统的基本参数、技术要求和试验方法。 本标准适用于分辨率为0.1～10μm的测量系统。