SJ/T 11183-1998 匀胶设备通用规范

标准编号：SJ/T 11183-1998

代替了下列标准：SJ 8193－1988

标准名称：匀胶设备通用规范

发布日期：1998-03-11

实施日期：1998-05-01

适用范围

本标准规定了匀胶设备的定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于半导体集成电路、晶体管中的硅片、石英铬板、玻璃板等（以下简称“基片”）的匀胶设备。