SJ/T 11181-1998 净化涂胶台通用规范

标准编号：SJ/T 11181-1998

标准名称：净化涂胶台通用规范

发布日期：1998-03-11

实施日期：1998-05-01

适用范围

本标准规定了净化涂胶台的定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于制造半导体集成电路专用的净化涂胶设备，其它类型的涂胶设备也可参照使用。