SJ/T 11131-1997 蒸发镀膜设备基本参数系列

标准编号：SJ/T 11131-1997

标准名称：蒸发镀膜设备基本参数系列

发布日期：1997-09-02

实施日期：1998-01-01

适用范围

本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。 本标准适用于极限压力为3×10^(-3)P|(a)～5×10^(-6)P|(a)范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。