SJ/T 10584-1994 微电子学光掩蔽技术术语

标准编号：SJ/T 10584-1994

标准名称：微电子学光掩蔽技术术语

发布日期：1994-08-08

实施日期：1994-12-01

适用范围

本标准规定了微电子学光掩蔽技术的有关术语。 本标准适用于黴电子学光掩蔽技术的科研、生产、教学、贸易和技术交流。