JB/T 2965-1992 溅射离子泵性能测试方法

标准编号：JB/T 2965-1992

代替了下列标准：JB 2965-1981

标准名称：溅射离子泵性能测试方法

发布日期：1992-12-24

实施日期：1993-07-01

适用范围

本标准规定了溅射离子泵性能测试方法。
本标准适用于抽速大于10Ls(-1)的离子泵。