JB/T 5630-1991 半导体器件扩散炉能耗分等

标准编号：JB/T 5630-1991

标准名称：半导体器件扩散炉能耗分等

发布日期：1991-08-27

实施日期：1992-07-01

适用范围

本标准规定了半导体器件扩散炉（以下简称扩散炉）能耗分等。本标准适用于电子工业企业半导体器件制造过程中用作各种扩散、氧化、退火和合金工艺以及对其他材料进行特殊处理的扩散炉。