JB/T 5631-1991 半导体器件外延炉能耗分等

标准编号：JB/T 5631-1991

标准名称：半导体器件外延炉能耗分等

发布日期：1991-08-27

实施日期：1992-07-01

适用范围

本标准规定了半导体器件外延炉（以下简称外延炉）能耗分等。 本标准适用于电子工业企业外延炉。