JB/T 5633-1991 单晶炉能耗分等

标准编号：JB/T 5633-1991

标准名称：单晶炉能耗分等

发布日期：1991-08-27

实施日期：1992-07-01

适用范围

本标准规定了单晶炉能耗分等。 本标准适用于电子工业企业直拉式和区熔式硅单晶炉。