GB/T 48076-2026 纳米技术碳纳米管探针扫描显微术大深宽比微纳结构测量

标准编号：GB/T 48076-2026

标准名称：纳米技术碳纳米管探针扫描显微术大深宽比微纳结构测量

英文名称：Nanotechnology—Carbon nanotube probe scanning microscopy—Measurement of high aspect ratio micro-nano structures

发布日期：2026-08-28

实施日期：2027-03-01

起草人

杨树明、张国锋、李伟、崔波、吉培瑞、李适、贾宪生

西安交通大学、探真纳米科技（衢州）有限公司、中国计量科学研究院

本文件描述了利用碳纳米管探针测量大深宽比微纳结构的方法，包括基本原理、测试条件和所需设备等，规定了碳纳水管探针的参数范围和对样品的要求，确立了测量步骤。

本文件适用于硬质样品，且深宽比范围在1~10，最小水平线宽不小于碳纳米管直径2倍的微纳结构测量，其他样品的测量参照使用。