GB/T 42709.40-2026 半导体器件微电子机械器件第40部分：MEMS惯性冲击开关阈值测试方法

标准编号：GB/T 42709.40-2026

标准名称：半导体器件微电子机械器件第40部分：MEMS惯性冲击开关阈值测试方法

英文名称：Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Part 40: Test methods of MEMS inertial shock switch threshold

发布日期：2026-07-30

实施日期：2027-02-01

起草人

张威、白先民、赵晓东、杨明、张亚婷、冯艳露、刘若冰、熊志红

北京智芯传感科技有限公司、北京大学、中国电子技术标准化研究院、北京空间机电研究所、安徽京芯传感科技有限公司、深圳仕上电子科技股份有限公司

本文件描述了MEMS惯性冲击开关阈值的测试条件和测试方法。

本文件适用于常开型MEMS惯性冲击开关。