GB/T 47926-2026 半导体用磁悬浮自轴承洁净泵技术规范

标准编号：GB/T 47926-2026

标准名称：半导体用磁悬浮自轴承洁净泵技术规范

英文名称：Technical specification for maglev self-bearing clean pump for semiconductor applications

发布日期：2026-07-30

实施日期：2027-02-01

起草人

尹成科、段新颖、方泽华、华斌、胡亮、戴志敏、李致宇、周文武、祝长生、常燕、张人会、马柏青、海弘毅、李志军、许璐、徐俊成、唐步高、郑圣弘、孙立宁、吴鹏、郑士杰、崔庆文、尤志强、王献忠、顾红峰、赵宏宇、张健宇、王勇

起草单位

苏州苏磁智能科技有限公司、华海清科（北京）科技有限公司、苏州智程半导体科技股份有限公司、世源科技工程有限公司、中国科学院上海应用物理研究所、东南大学、湖南凌翔磁浮科技有限责任公司、槃实科技（深圳）有限公司、上海市计量测试技术研究院有限公司、兰州理工大学、杭州浙富核电设备有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、浙江启尔机电技术有限公司、宁波积硅电子材料有限公司、浙江大学、苏州大学、天瑞磁浮智能制造（山东）有限公司、重庆凯磁医疗技术有限公司、浙江高旋动力装备有限公司、山东磁悬浮产业技术研究院有限公司、兰州兰泵有限公司、上海多宁生物科技股份有限公司

适用范围

本文件给出了半导体用磁悬浮自轴承洁净泵的结构和组成，规定了其悬浮旋转、欠压保护、过温保护及空载保护等功能要求，以及控制模式、环境条件、关键部件、性能参数和泵头洁净度等技术要求，并描述了相应的试验方法。

本文件适用于半导体行业泵送液体介质、许用功率30W~8000W、具有超洁净特点的磁悬浮自轴承洁净泵的设计、生产、验收和维护管理。