GB/T 38616-2020 纳米定位与扫描平台术语

标准编号：GB/T 38616-2020

标准名称：纳米定位与扫描平台术语

英文名称：Terminology for nano positioning and scaning stage

发布日期：2020-04-28

实施日期：2020-11-01

起草人

须颖、戴敬、施玉书、贾静、王贺、安冬、邵萌、戴超、文杰

沈阳建筑大学、广东工业大学、苏州昊通仪器科技有限公司、三英精控（天津）仪器设备有限公司、中国计量科学研究院、沈阳理工大学

本标准界定了纳米定位与扫描平台（以下简称平台）的术语定义。

本标准适用于纳米定位与扫描平台产品参数的定义。