YS/T 1740-2025 电子级三氯氢硅的化学气相沉积评价方法

标准编号：YS/T 1740-2025

标准名称：电子级三氯氢硅的化学气相沉积评价方法

英文名称：Evaluation method for chemical vapor deposition ofelectronic-grade trichlorosilane

发布日期：2025-04-10

实施日期：2025-11-01

起草人

秦榕、薛心禄、李素青、王志强、曹俊英、万首正、赵娟龙、马淑霞、李球

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本文件规定了用化学气相沉积法制备电子级三氯氢硅的评价样棒，并通过检测评价样棒的导电类型、电阻率、碳、施主和受主杂质含量来表征电子级三氯氢硅质量的规程。

本文件适用于硅多晶生产和硅外延用电子级三氯氢硅的质量评价。