YS/T 1725-2025 钒及钒合金靶材

标准编号：YS/T 1725-2025

标准名称：钒及钒合金靶材

英文名称：Vanadium and vanadium alloy target

发布日期：2025-04-10

实施日期：2025-11-01

起草人

姚力军、杨慧珍、廖培君、吴东青、朱孜毅、曹欢欢、边逸军、王学泽、周友平、汤婷、齐琦琦、罗俊锋、黄引驰、陈玉蓉、时晓旭

宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波江丰热等静压技术有限公司

本文件规定了钒及钒合金靶材的术语和定义、分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。

本文件适用于电子薄膜用钒及钒合金靶材。