YS/T 1727-2025 高纯钛溅射环

标准编号：YS/T 1727-2025

标准名称：高纯钛溅射环

英文名称：High-purity titanium sputtering coil

发布日期：2025-04-10

实施日期：2025-11-01

起草人

张晓娜、张延宾、丁照崇、肖彤、曹晓萌、王绍帅、何金江、姚力军、廖培君、黄引驰、白智辉

有研亿金新材料有限公司、有研亿金新材料（山东）有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司

本文件规定了高纯钛溅射环的术语和定义、分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件及订货单内容。

本文件适用于电子薄膜制造用的高纯钛溅射环（以下简称“钛环”）。