GB/T 34326-2026 表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度的测量方法

标准编号：GB/T 34326-2026

代替了下列标准：GB/T 34326-2017

标准名称：表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度的测量方法

英文名称：Surface chemical analysis—Depth profiling—Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS

发布日期：2026-01-28

实施日期：2026-08-01

起草人

吴正龙、王海、王梅玲、张艾蕊、范燕、徐鹏

起草单位

北京师范大学、季华实验室、中国计量科学研究院、国家纳米科学中心

适用范围

本文件描述了在俄歇电子能谱(AES)和X射线光电子能谱(XPS)中使用惰性气体离子的离子束对准方法，以确保溅射深度剖析中的良好深度分辨和表面的最佳清洁。这些方法有两类：一类是用法拉第杯测量离子束流；另一类是成像方法。其中，法拉第杯法还规定了离子束流密度和束流分布的测量要求。

本文件适用于束斑直径小于或等于1 mm 的离子枪，但不包括深度分辨优化。