GB/T 13062-2018 半导体器件 集成电路 第21-1部分：膜集成电路和混合膜集成电路空白详细规范(采用鉴定批准程序)

标准编号：GB/T 13062-2018

代替了下列标准：GB/T 13062-1991

标准名称：半导体器件 集成电路 第21-1部分：膜集成电路和混合膜集成电路空白详细规范(采用鉴定批准程序)

英文名称：Semiconductor devices—Integrated circuits—Part 21-1：Blank detail specification for film integrated circuits and hybrid film integrated circuits on the basis of the qualification approval procedures

发布日期：2018-12-28

实施日期：2019-07-01

起草人

冯玲玲、陈裕焜、王婷婷、管松林、雷剑、王琪

起草单位

中国电子科技集团公司第四十三研究所、中国电子技术标准化研究院

适用范围