DIN 50441-4:1999-03 Testing of materials for semiconductor technology - Determination of the geometric dimensions of semiconductor wafers - Part 4: Slice diameter, diamter variation, flat diameter, flat length, flat depth

标准编号：DIN 50441-4:1999-03

英文标题：Testing of materials for semiconductor technology - Determination of the geometric dimensions of semiconductor wafers - Part 4: Slice diameter, diamter variation, flat diameter, flat length, flat depth

德文标题：Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Messung der geometrischen Dimensionen von Halbleiterscheiben - Teil 4: Scheibendurchmesser, Durchmesservariation, Flatdurchmesser, Flatlänge, Flattiefe

发布日期：1999-03

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