DIN 50438-1:1995-07 Testing of materials for semiconductor technology - Determination of impurity content in silicon by infrared absorption - Part 1: Oxygen

标准编号：DIN 50438-1:1995-07

英文标题：Testing of materials for semiconductor technology - Determination of impurity content in silicon by infrared absorption - Part 1: Oxygen

德文标题：Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung des Verunreinigungsgehaltes in Silicium mittels Infrarot-Absorption - Teil 1: Sauerstoff

发布日期：1995-07

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