GB/T 35158-2017 俄歇电子能谱仪检定方法

标准编号：GB/T 35158-2017

标准名称：俄歇电子能谱仪检定方法

英文名称：Verification method for Auger electron spectrometers(AES)

发布日期：2017-12-29

实施日期：2018-11-01

起草人

姚文清、岑丹霞、刘芬、王水菊、张增明、徐建

起草单位

厦门大学、清华大学

适用范围

本标准规定了俄歇电子能谱仪（Auger electron spectrometer）的检定方法。

本标准适用于激发源为电子束，且带有溅射清洁用离子枪的俄歇电子能谱仪。