DIN 50447:1995-04 Testing of materials for semiconductor technology - Contactless determination of the electrical sheet resistance of semiconductor layers with the eddy-current method

标准编号：DIN 50447:1995-04

英文标题：Testing of materials for semiconductor technology - Contactless determination of the electrical sheet resistance of semiconductor layers with the eddy-current method

德文标题：Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Kontaktlose Messung des elektrischen Flächenwiderstandes von Halbleiterschichten mit dem Wirbelstrom-Verfahren

发布日期：1995-04

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