GB/T 34971-2017 半导体制造用气体处理指南

标准编号：GB/T 34971-2017

标准名称：半导体制造用气体处理指南

英文名称：Guide for gaseous effluent handling in semiconductor industry

发布日期：2017-11-01

实施日期：2018-02-01

起草人

孙福楠、牛艳东、王鸿、方华、廖恒易、杜汉盛、陈鹰、周鹏云

中昊光明化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、东莞市联臣电子科技有限公司、上海市计量测试技术研究院、西南化工研究设计院有限公司、广东华特气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司

本标准规定了半导体制造用气体排放系统的原理及技术。

本标准适用于半导体制造用气体的处理。