GB/T 34899-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法

标准编号：GB/T 34899-2017

标准名称：微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法

英文名称：Micro-electromechanical system technology—Measuring method of microstructure surface stress based on Raman spectroscopy

发布日期：2017-11-01

实施日期：2018-05-01

起草人

石云波、唐军、李海斌、朱悦、程红兵、崔建功

起草单位

中北大学、中机生产力促进中心

适用范围

本标准规定了拉曼光谱法测定微机电系统（MEMS）结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的方法。

本标准适用于微机电系统（MEMS）结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的拉曼光谱法测试。