GB/T 34178-2017 光掩模石英玻璃基板

标准编号：GB/T 34178-2017

标准名称：光掩模石英玻璃基板

英文名称：Silica glass substrates for photomask

发布日期：2017-09-07

实施日期：2018-08-01

起草人

吴洁、王京侠、花宁、刘焕敏、张浩运、杨晓会、张应语、王友军、李弋舟、肖颂华、聂兰舰、杨学东、孔敏

中国建材检验认证集团股份有限公司、长沙韶光铬版有限公司、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心、中建材衢州金格兰石英有限公司、中国建筑材料科学研究总院

本标准规定了光掩模石英玻璃基板（以下简称石英玻璃基板）的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。

本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统（MEMS)、光电器件和发光二级管（LED）等光刻工艺中光掩模石英玻璃基板。