GB/T 33838-2017 微束分析 扫描电子显微术 图像锐度评估方法

标准编号：GB/T 33838-2017

标准名称：微束分析 扫描电子显微术 图像锐度评估方法

英文名称：Microbeam analysis—Scanning electron microscopy—Methods of evaluating image sharpness

发布日期：2017-05-31

实施日期：2018-04-01

起草人

丁泽军、阮瞩

起草单位

中国科学技术大学物理学院

适用范围

本标准规定了用于评估扫描电子显微镜（SEM）生成的数字图像锐度的3种方法：傅立叶变换（FT)法、衬度一梯度（CG）法、导数（DR）法。