DIN 50454-3:1994-10 Testing of materials for semiconductor technology - Determination of the dislocation etch pits density in monocrystals of III-V-compound semiconductors - Part 3: Gallium phosphide

标准编号：DIN 50454-3:1994-10

英文标题：Testing of materials for semiconductor technology - Determination of the dislocation etch pits density in monocrystals of III-V-compound semiconductors - Part 3: Gallium phosphide

德文标题：Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung der Versetzungsätzgrubendichte in Einkristallen von III-V-Verbindungshalbleitern - Teil 3: Galliumphosphid

发布日期：1994-10

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