DIN IEC/TS 62622:2014-09 Nanotechnologies - Description, measurement and dimensional quality parameters of artificial gratings (IEC/TS 62622:2012)

标准编号：DIN IEC/TS 62622:2014-09

英文标题：Nanotechnologies - Description, measurement and dimensional quality parameters of artificial gratings (IEC/TS 62622:2012)

德文标题：Nanotechnologien - Beschreibung, Messung und dimensionale Qualitätsparameter von künstlichen Gittern (IEC/TS 62622:2012)

发布日期：2014-09

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