DIN 50441-5:2001-04 Testing of materials for semiconductor technology - Determination of the geometric dimensions of semiconductor wafers - Part 5: Terms of shape and flatness deviation

标准编号：DIN 50441-5:2001-04

英文标题：Testing of materials for semiconductor technology - Determination of the geometric dimensions of semiconductor wafers - Part 5: Terms of shape and flatness deviation

德文标题：Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Messung der geometrischen Dimensionen von Halbleiterscheiben - Teil 5: Begriffe zur Gestalts- und Ebenheitsabweichung

发布日期：2001-04

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