GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范

标准编号：GB/T 32814-2016

标准名称：硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范

英文名称：Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process

发布日期：2016-08-29

实施日期：2017-03-01

起草人

苑伟政、谢建兵、马志波、常洪龙、李海斌、乔大勇、刘伟

西北工业大学、中机生产力促进中心

本标准规定了采用SOI硅片进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于S0I硅片的MEMS器件的加工和质量检验。