DIN 50441-2:1998-11 Testing of materials for semiconductor technology - Determination of the geometric dimensions of semiconductor wafers - Part 2: Testing of edge profile

标准编号：DIN 50441-2:1998-11

英文标题：Testing of materials for semiconductor technology - Determination of the geometric dimensions of semiconductor wafers - Part 2: Testing of edge profile

德文标题：Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Messung der geometrischen Dimensionen von Halbleiterscheiben - Teil 2: Prüfung des Kantenprofils

发布日期：1998-11

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