GB/T 20726-2015 微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法

标准编号：GB/T 20726-2015

代替了下列标准：GB/T 20726-2006

标准名称：微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法

英文名称：Microbeam analysis—Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy dispersive X-ray spectrometers for use in electron probe microanalysis

发布日期：2015-10-09

实施日期：2016-09-01

起草人

曾荣树、徐文东、毛骞、马玉光

起草单位

中国科学院地质与地球物理研究所

适用范围

本标准规定了表征以半导体探测器、前置放大器和信号处理系统为基本构成的X-射线能谱仪（EDS）特性最重要的性能参数。本标准仅适用基于固态电离原理的半导体探测器能谱仪。本标准规定了与扫描电镜（SEM）或电子探针（EPMA）联用的EDS性能参数的最低要求以及核查方法。至于实际分析过程，在ISO 22309和 ASTM E1508 中已有规范，不在本标准范围之内。